|
|
Modular Monte Carlo Simulation Including Secondary Electron Raytracing
Gnieser, D. ; Frase, C. G. ; Bosse, H. ; Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona
A Monte Carlo simulation program for the modeling of image formation in scanning electron microscopy is presented. A key feature of the program is its modular design, so the different aspects of image formation (i.e. forming of the electron probe, specimen topography model, probe-sample-interaction, electron detector model, image processing) are arranged in separate program modules. The program is written in C++ and uses object-oriented programming techniques. Data exchange between the different program modules is performed by defined software interfaces. Thus, third party simulation code can easily be integrated into the program.
|
|
|
Vyšší řády derivací pole ve výpočtu aberací
Radlička, Tomáš
Aberační koeficienty patří k významným parametrům elektronového optického systému. Zatímco třetí řád aberací je dobře popsán, výpočet pátého řádu aberací je velmi komplikovaný a nebyl doposud uspokojivě prezentován. V tomto příspěvku se zaměříme na opomíjenou část tohoto výpočtu – výpočet analytického rozvoje pole v blízkosti osy.
|
|
| |
|
|
Řešení složitých elektronově optických problémů v EOD
Lencová, Bohumila
Příspěvek provádí shrnutí možností přesného výpočtu potenciálu metodou konečných prvků prvního řádu a vysoce přesného trasování částic v numericky spočtených polích, jak bylo implementováno v programu EOD. Použití programu je ilustrováno na výsledcích výpočtu koeficientů vad třetího řádu elektrostatického elektronového zrcadla z výsledků trasování a výpočty korektorů osových vad elektronových mikroskopů.
|
|
|
Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Dvořáková, Marie ; Müllerová, Ilona
Detekce sekundárních elektronů byla studována v mikroskopech, kde magnetické pole objektivu proniká k povrchu vzorku a v uspořádání bez magnetického pole v oblasti vzorku. Sběrová účinnost detektorů sekundárních elektronů je závislá na jejich energiové a úhlové citlivosti, která je ovlivněná rozložením magnetických a elektrostatických polí v okolí vzorku. Byly provedeny simulace a vyhodnocení trajektorií sekundárních elektronů v závislosti na jejich energii a úhlovém rozložení. Na základě vypočtené sběrové účinnosti byly porovnány detektory sekundárních elektronů v daném uspořádání. Pro potvrzení simulací posloužil vzorek s částicemi zlata na uhlíku.
|
|
| |
|
| |
|
|
Měření elektronově-optických vlastností Wienova filtru stínovou metodou
Horáček, Miroslav ; Vlček, Ivan ; Zobač, Martin
Wienův filtr je možné použít jako separátor primárního a signálního svazku elektronů ve velmi nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou. Abychom mohli experimentálně určit elektronově-optické vlastnosti Wienova filtru, který je rotačně nesymetrickým prvkem, modifikovali jsme stínovou dvoumřížkovou metodu na metodu s mřížkou a pohyblivým stínítkem. Výhodou této metody je její geometrická jednoduchost, která umožňuje porovnání experimentálně získaných a numericky spočítaných trajektorií.
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.